臭氧的分子式为O₃。为天蓝色腥臭味气体，液态呈暗黑色，固态呈蓝黑色。臭氧主要存在于距地球表面20公里的同温层下部的臭氧层中。它吸收、阻挡并削弱对人体有害的短波紫外线，防止其到达地球。

当环境中臭氧浓度偏高时，又是一种环境污染气体，它是温室效应气体之一，杀灭细菌的同时也对人体细胞构成损伤，在静电区，打印机旁，都应注意通风，避免臭氧浓度过高引起的毒性效应。

臭氧是一种强氧化剂，灭菌过程属生物化学氧化反应。O₃灭菌有以下3种形式：

1.臭氧能氧化分解细菌内部葡萄糖所需的酶，使细菌灭活死亡。

2.直接与细菌、病毒作用，破坏它们的细胞器和DNA、RNA，使细菌的新陈代谢受到破坏，导致细菌死亡。

3.透过细胞膜组织，侵入细胞内，作用于外膜的脂蛋白和内部的脂多糖，使细菌发生通透性畸变而溶解死亡。